MEMS一般指微机电系统✿◈。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）✿◈，也叫做微电子机械系统✿◈、微系统电子元件✿◈！✿◈、微机械等✿◈，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置✿◈。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级✿◈，是一个独立的智能系统pp电子✿◈。微机电系统是在微电子技查看详情

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